Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
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Key information
Overview
Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. Kurt-Schwabe-Straße 4, Waldheim / Germany, 04736, Mittelsachsen, Germany
Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber ein definiertes Elektronenstrahl-Lithografiesystem zur hochauflösenden Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen. Eine genaue Beschreibung ist dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen.
Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. (KSI Meinsberg), Waldheim, 04736, Mittelsachsen, Germany
-
12 May 2026, 00:00
LOT-0001 - Procurement project planned period start
Milestone
12 May 2026, 00:00
Requested publication date
Publication
12 May 2026, 06:21
Issued at
Publication
17 Jun 2026, 18:00
LOT-0001 Tender submission deadline period
Deadline
18 Jun 2026, 06:00
LOT-0001 - -
Milestone
21 Dec 2026, 00:00
LOT-0001 - Procurement project planned period end
Deadline
None recorded.