IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

cn-standardContract or concession notice – standard regime00367674-2026IRInstitut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
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DeadlineExpired30 Jun 2026, 10:00
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Identifier
00367674-2026
Contract type
Deadline
30 Jun 2026, 10:00
CPV codes
42990000 - Miscellaneous special-purpose machinery
Status
Active
Notice type
cn-standardContract or concession notice – standard regime
Source
Estimated value
Publication date
28 May 2026, 22:00

Overview

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.

#Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZMS7W# (1) Es wird darauf hingewiesen, dass das am 1.7.2013 in Kraft getretene Tariftreue- und Mindestlohngesetz für öffentliche Aufträge in Baden-Württemberg (LTMG) sowie das Gesetz zur Regelung eines allgemeinen Mindestlohns (Mindestlohngesetz) Anwendung finden. Die sich hieraus ergebenden Verpflichtungen, insbesondere auch bei dem Einsatz von Nach- und Verleihunternehmen, sind daher zu beachten; (2) Die Teilnahmeformulare sind unter der für den Abruf der Unterlagen angegebenen Internetadresse abrufbar. Ebenfalls dort abrufbar ist ein Bewerbermemorandum. In diesen Teilnahmeunterlagen sind wesentliche Teile der ausgeschriebenen Leistung sowie der Verfahrensvorgaben bereits dargestellt. Unter dieser Internetadresse werden auch Antworten auf Bewerberfragen sowie aktualisierte oder weitere Informationen und Unterlagen zu dem Verfahren zur Verfügung gestellt. Interessenten an dem Verfahren müssen sicherstellen, dass sie regelmäßig und insbesondere unmittelbar vor Abgabe ihres Teilnahmeantrags sowie vor Ablauf der Teilnahmefrist prüfen, ob seitens der Vergabestelle zusätzliche Informationen oder Unterlagen zur Verfügung gestellt wurden, welche für die Abgabe des Teilnahmeantrags zu beachten sind.

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Timeline

26 May 2026, 22:00

Requested publication date

Milestone

27 May 2026, 13:14

Dispatch date

Milestone

28 May 2026, 22:00

Publication date

Publication

30 Jun 2026, 10:00

Participation request deadline

Deadline

Version history

None recorded.

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