FIB & SEM system + floor vibrations, acoustics interference, and magnetic field interference (HHI-01) FIB & SEM system (HHI-01)

Einsteinufer 37, Berlin, 10587, Berlin, Germany

1 Stück FIB-SEM Dualbeam System Im Rahmen der Beschaffung soll ein feldfreies (ohne Immersionsoptik) fokussiertes Ionenstrahlsystem (FIB-SEM) in Kombination mit einem hochauflösenden Rasterelektronenmikroskop (FIB-SEM) ausgewählt werden. Das System wird für die Strukturierung, Nanostrukturierung sowie Querschnitts- und Oberflächenanalyse von vorwiegend III/V-Halbleitern, LNOI, Polymeren sowie Resists und für die Halbleitertechnik typischen Prozessprodukten eingesetzt. Programmierbare und automatisierte Routinen sollten nach Möglichkeit konfigurierbar sein. Im Rahmen der Ausschreibung soll das neue System installiert werden. Darüber hinaus sind am Aufstellungsort des Systems Raummessungen durchzuführen. Die Raummessungen sollten Bodenvibrationen, akustische Störungen und magnetische Störungen umfassen. Der Bieter verpflichtet sich, durch entsprechende Vorbereitungsmaßnahmen am Aufstellungsort sicherzustellen, dass die Gerätespezifikationen und die Prozessspezifikation (Prozessgas) eingehalten werden. Optionen - Fortgeschrittenenschulung für 15 Tage (2 Personen), Abfrage der Kontingente nach Bedarf - 1 Gasinjektionssystem mit weiteren Elementen, wird im Rahmen der Ausschreibung festgelegt - Softwaremodul zum Import von KLAF-Dateien 1 FIB-SEM dual-beam system As part of the procurement process, a field-free (without immersion optics) focused ion beam system (FIB-SEM) combined with a high-resolution scanning electron microscope (SEM) is to be selected. The system will be used for patterning, nanostructuring, and cross-sectional and surface analysis of primarily III/V semiconductors, LNOI, polymers and resists, as well as process products typical of semiconductor technology. Programmable and automated routines should be configurable where possible. Options - Advanced training course for 15 days (2 people); availability to be confirmed as required - 1 gas injection system with additional components; to be specified in the tender - Software module for importing KLAF files

Einsteinufer 37, Berlin, 10587, Berlin, Germany

#Besonders auch geeignet für:other-sme#

#Also particularly suitable for:other-sme#